Projects of the Electron beam lithography department |
VEGA – Scientific Grant Agency of SR and SAS GAV – Grant Agency for Science COPERNICUS – European Communities ASFEU – Agency of SR for EU Structural Funds SRDA – Agency for research&development support MAD – Inter-academic agreement |
Actual and recent projects:
Preparation of nanometer patterns in 2D materials using electron beam lithography Príprava štruktúr nanometrových rozmerov v 2D materiáloch použitím elektrónovej litografie |
|
Program: Mobility Project leader: Ing. Mgr. Andok Robert, PhD. |
ID: BAS-SAS-2022-05 Duration: 1.1.2023 - 31.12.2024 |
Annotation | |
- Nanoštruktúrne polovodivé materiály a ich integrácia do chemoodporových senzorov plynov a do senzorov ťažkých kovov |
|
Program: VEGA Project leader: RNDr. Kostič Ivan |
ID: 1/0789/21 Duration: 1.1.2021 - 31.12.2024 |
Progressive methods of the transfer of nanostructured semiconductive 2D materials based on transition metal dichalcogenides onto microelectronic elements Progresívne metódy transferu nanoštruktúrnych polovodivých 2D materiálov na báze dichalkogenidov tranzitných kovov do mikroelektronických prvkov |
|
Program: VEGA Project leader: Ing. Mgr. Andok Robert, PhD. |
ID: 2/0099/22 Duration: 1.1.2022 - 31.12.2025 |
Annotation | |
Finished projects:
Innovation of sub-micrometer electron beam lithography Inovácia sub-mikrometrovej elektrónovej litografie |
|
Program: Bilateral - other Project leader: RNDr. Kostič Ivan |
ID: SK-BUL-010-06 Duration: 1.1.2007 - 31.12.2009 |
Web page: http://www.ie-bas.dir.bg/Departments/Beamtech.htm Annotation |
|
Molecular-friendly processes for fabrication of molecular electronic devices Kompatibilné molekulárne procesy pre prípravu molekulárnych elektronických obvodov |
|
Program: Bilateral - other Project leader: RNDr. Kostič Ivan |
ID: SK-GR-047-11 Duration: 1.1.2013 - 31.12.2014 |
Annotation | |
Correlation of structure and magnetism in novel nanoscale magnetic particles Korelácia štruktúry a magnetických vlastností nových magnetických nano častíc |
|
Program: FP5 Project leader: RNDr. Kostič Ivan |
ID: 150 Duration: 1.3.2000 - 31.7.2004 |
Web page: http://agfarle.uni-duisburg.de/RTN Annotation |
|
An individual stimulating system with 3D nano-structure carbon/graphene based transducer and wireless heater for automated tiny insects behavior monitoring Monitorovací a stimulačný systém s 3D snímačom a mikro-ohrievačom na báze uhlíka/grafénu s bezdrôtovým ovládaním pre automatizované individuálne monitorovanie a stimuláciu drobného hmyzu |
|
Program: JRP Project leader: Ing. Mgr. Andok Robert, PhD. |
ID: SAS-MOST JRP2017/1 Duration: 1.1.2018 - 31.12.2022 |
Annotation | |
Semiconducting Metal Oxide - New Materials For Environmental Sensors Polovodivé oxidy kovov – nové materiály pre environmentálne senzory |
|
Program: Mobility Project leader: Ing. Mgr. Andok Robert, PhD. |
ID: SAS-BAS-21-04 Duration: 1.1.2021 - 31.12.2022 |
Annotation | |
Radical Innovation Maskless Nanolithography Radikálna inovácia bezmaskovej nanolitografie |
|
Program: FP6 Project leader: RNDr. Kostič Ivan |
ID: 17133 Duration: 1.10.2005 - 30.9.2008 |
Web page: www.rimana.org, http://cordis.europa.eu/fetch?CALLER=FP6_PROJ=D=74659=1=PROJ=14 Annotation |
|
Technology for the Production of Massively Parallel Intelligent Cantilever – Probe Platform for Nanoscale Analysis and Synthesis Technológia výroby matice paralelných inteligentných nosníkov –sondových platform pre analýzu a syntézu v nanometrovej oblasti |
|
Program: FP6 Project leader: RNDr. Kostič Ivan |
ID: 515739 Duration: 1.4.2005 - 30.9.2010 |
Web page: www.pronano.org Annotation |
|
Nano-structuring by Electron Beam Lithography for Sensor Application Tvarovanie štruktúr pre senzorové aplikácie s využitím elektrónovej litografie |
|
Program: Bilateral - other Project leader: RNDr. Kostič Ivan |
ID: APVV SK-BG-2013-0030 Duration: 9.5.2016 - 31.12.2017 |
Annotation | |
Robust Lithography of Submicron nad Nano-dimensional Structures Výkonná litografia submikrometrových a nanometrových štruktúr |
|
Program: Bilateral - other Project leader: RNDr. Kostič Ivan |
ID: SK-BG-0037-10 Duration: 1.1.2012 - 31.12.2013 |
Annotation | |
Study of electron beam resists and patterning of nano-structures by electron beam lithography for gas sensor applications Výskum elektrónových rezistov a príprava nanoštruktúr s využitím elektrónovej litografie vo výskume senzorov plynu |
|
Program: Inter-academic agreement Project leader: RNDr. Kostič Ivan |
ID: JRP SAS-BAS 2015-2017 Duration: 1.1.2015 - 31.12.2017 |
Annotation | |
Centre of Excelence for New Technologies in Electrical Engineering Budovanie Centra excelentnosti pre nové technológie v elektrotechnike - II. etapa |
|
Program: EU Structural Funds Research Development Project leader: RNDr. Kostič Ivan |
ID: ITMS – 262 401 200 19 Duration: 1.3.2010 - 28.2.2013 |
Web page: http://www.elu.sav.sk/old/cente/index.html | |
Center of Excellence for New Technologies in Electrical Engineering Centrum excelentnosti pre nové technológie v elektrotechnike - I.etapa |
|
Program: EU Structural Funds Research Development Project leader: RNDr. Kostič Ivan |
ID: ITMS – 26240120011 Duration: 15.5.2009 - 14.5.2011 |
Web page: http://www.elu.sav.sk/old/cente/index.html | |
Electron beam lithography of nanometer structures for 2D materials on the base of metal sulfides Elektrónová litografia nanometrových štruktúr pre 2D materiály na báze sulfidov kovov |
|
Program: VEGA Project leader: Ing. Mgr. Andok Robert, PhD. |
ID: 2/0119/18 Duration: 1.1.2018 - 31.12.2021 |
Annotation | |
Electron Spin PolaRImeTer based on thin ferromagnetic membranes Elektrónový spinový polarimeter na báze tenkých feromagnetických membrán |
|
Program: SRDA Project leader: Ing. Mgr. Andok Robert, PhD. |
ID: SK-FR-2013-0032 Duration: 1.1.2014 - 31.12.2015 |
Annotation | |
Physics of Information Fyzika informácie |
|
Program: Project leader: RNDr. Kostič Ivan |
ID: Duration: 1.1.2005 - 31.12.2008 |
Web page: http://www.quniverse.sk/cepi/ | |
Hybrid Spintronic Nanostructures Controlled by Spin-Polarized Current Hybridné spintronické štruktúry riadené spinovopolarizovaným prúdom |
|
Program: SRDA Project leader: RNDr. Kostič Ivan |
ID: APVV-0173-06 Duration: 1.1.2007 - 30.4.2010 |
Web page: http://www.fu.sav.sk/?q=sk/projects#APVV Annotation |
|
- Mikro-elektro-mechanické štruktúry a senzory pre využitie v automobilovom priemysle a doprave |
|
Program: Project leader: Ing. Mgr. Andok Robert, PhD. |
ID: NFP313011X741 Duration: 1.1.2016 - 31.12.2019 |
Web page: mems.sk Annotation |
|
Micro-electro-mechanical structures and sensors for aplication in automotive industry Mikro-elektro-mechanické štruktúry a senzory pre využitie v automobilovom priemysle a dopraveKód |
|
Program: Project leader: Ing. Mgr. Andok Robert, PhD. |
ID: 313011X741 Duration: 1.1.2016 - 31.12.2019 |
Web page: http://mems.sk | |
Nanostructured thin-film materials and innovative technologies for MEMS gas and heavy metal sensors Nanoštruktúrne tenkovrstvové materiály a inovatívne technológie pre MEMS senzory plynov a ťažkých kovov |
|
Program: VEGA Project leader: RNDr. Kostič Ivan |
ID: 1/0828/16 Duration: 1.1.2016 - 31.12.2019 |
Annotation | |
(EkoWatt) Odolný senzorický systém do priemyselných prostredí s vysokými tlakmi, teplotami a vysokým stupňom elektromagnetického rušenia |
|
Program: EU Structural Funds Research Development Project leader: Ing. Mgr. Andok Robert, PhD. |
ID: ITMS 26240220037 Duration: 1.1.2011 - 31.10.2013 |
Web page: http://www. ekowatt.sk/projekty/ Annotation |
|
Advanced MEMS chemical sensors for extreme conditions Pokročilé MEMS chemické senzory pre extrémne podmienky |
|
Program: SRDA Project leader: RNDr. Kostič Ivan |
ID: APVV-0655-07 Duration: 1.6.2008 - 31.12.2010 |
Web page: www.elu.sav.sk Annotation |
|
Preparation of \'active\' tips for probe microscopy by MOCVD Príprava \'aktívnych\' hrotov sondovej mikroskopie metódou MOCVD |
|
Program: SRDA Project leader: RNDr. Kostič Ivan |
ID: APVV-51-045705 Duration: 1.1.2007 - 31.10.2009 |
Web page: http://www.elu.sav.sk/apvv.html | |
Technology for the Production of Massively Parallel Intelligent Cantilever – Probe Platform for Nanoscale Analysis and Synthes Technológia výroby matice paralelných inteligentných nosníkov – sondových platform pre analýzu a syntézu v nanometrovej oblasti |
|
Program: Project leader: RNDr. Kostič Ivan |
ID: Duration: 1.1.2009 - 31.12.2009 |
Annotation | |
Investigation of novel nanolithographic technologies Výskum nových nanolitografických technológii |
|
Program: VEGA Project leader: Ing. Hrkút Pavol, CSc. |
ID: 2/0214/09 Duration: 1.1.2009 - 31.12.2011 |
Web page: www.ui.sav.sk/ebl Annotation |
|
Investigation of Novel Resist Materials for Next Generation Lithography Výskum nových rezistových materiálov pre litografiu novej generácie |
|
Program: VEGA Project leader: Ing. Hrkút Pavol, CSc. |
ID: VEGA 2/6184/26 Duration: 1.1.2006 - 1.12.2008 |
Investigation of processes for the preparation of structures for nanometer scale devices Výskum procesov prípravy štruktúr pre obvody na nanometrovej úrovni |
|
Program: VEGA Project leader: Ing. Mgr. Andok Robert, PhD. |
ID: 2/0134/15 Duration: 1.1.2015 - 31.12.2017 |
Annotation | |
(CRISIS) Výskum a vývoj nových informačných technológií na predvídanie a riešenie krízových situácií a bezpečnosť obyvateľstva |
|
Program: EU Structural Funds Research Development Project leader: doc. Ing. Hluchý Ladislav, CSc. |
ID: ITMS 26240220060 Duration: 3.1.2011 - 31.12.2013 |
Actual and recent projects (annotations):
Finished projects (annotations):
Correlation of structure and magnetism in novel nanoscale magnetic particles Korelácia štruktúry a magnetických vlastností nových magnetických nano častíc |
|
Annotation: no description | |
- Mikro-elektro-mechanické štruktúry a senzory pre využitie v automobilovom priemysle a doprave |
|
Annotation: - | |