Partneri oddelenia elektrónovej litografie |
• Elektrotechnický ústav, Slovenská akadémia vied, Bratislava, www.elu.sav.sk. • Ústav elektroniky a fotoniky, Fakulta elektrotechniky a informatiky, Slovenská technická univerzita v Bratislave, www.fei.stuba.sk. • Katedra experimentálnej fyziky, Fakulta matematiky, fyziky a informatiky Univerzity Komenského v Bratislave, www.dep.fmph.uniba.sk • Institute of Electronics, Bulgarian Academy of Sciences, Sofia, Bulgaria, http://www.ie-bas.dir.bg/ • Institute of Microelectronics, NCSR Demokritos, Athens, Greece, www.imel.demokritos.gr • Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Wroclaw University of Technology, Poland. www.wemif.pwr.wroc.pl • Laboratoire de Physique des Matériaux et des Surfaces, Université de Cergy-Pontoise. Rue d’Eragny, Neuville sur Oise, 95 031 Cergy-Pontoise, http://lpms-cea.u-cergy.fr |