Ing. Pavol Nemec (ÚI SAV): Senzorické štruktúry TiO2 s kontrolovaným rozšírením ich aktívnej oblasti detekcie plynov s využitím priamej elektrónovej litografie a reaktívneho iónového leptania (Oddelenie elektrónovej litografie ÚI SAV) prístup a abstrakt