Projects/International/Innovation of sub-micrometer electron beam lithography

 
RESEARCH PROJECT NAME

Innovation of sub-micrometer electron beam lithography


Slovenský názov

Inovácia sub-mikrometrovej elektrónovej litografie

Akronym

NANOELIT

Evidenčné číslo projektu

SK-BUL-010-06

Začiatok: 01.01.2007 Koniec: 31.12.2009

Koordinátor projektu

UI SAV

Zodpovedný riešiteľ

Ivan Kostič

Partnerské krajiny

Bulharsko

Program

Bilaterálne

Partnerské inštitúcie

Bulharsko: Institute of Electronics;Bulgarian Academy of Sciences

WWW stránka projektu

http://www.ie-bas.dir.bg/Departments/Beamtech.htm